“Micro-electromechani” 中國GB標準檢索結果 |
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GB/T 2900.104-2021 電工術語 微機電裝置（中英文版） Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices |
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GB/T 38447-2020 微機電系統（MEMS）技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration |
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GB/T 38446-2020 微機電系統（MEMS）技術 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films |
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GB/T 38341-2019 微機電系統（MEMS）技術 MEMS器件的可靠性綜合環境試驗方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments |
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GB/T 34898-2017 微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法（中英文版） Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element |
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GB/T 34894-2017 微機電系統（MEMS）技術 基於光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer |
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GB/T 34900-2017 微機電系統（MEMS）技術 基於光學干涉的MEMS微結構殘餘應變測量方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Measuring method for residual strain measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer |
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GB/T 34893-2017 微機電系統（MEMS）技術 基於光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer |
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GB/T 34899-2017 微機電系統（MEMS）技術 基於拉曼光譜法的微結構表面應力測試方法（中英文版） Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy |
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GB/T 32817-2016 半導體器件 微機電器件 MEMS總規範（中英文版） Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS |
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GB/T 26113-2010 微機電系統（MEMS）技術 微幾何量評定總則（中英文版） Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
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GB/T 26112-2010 微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則（中英文版） Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters |
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GB/T 26111-2010 微機電系統（MEMS）技術 術語（中英文版） Micro-electromechanical system technology - Terms |
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