“Silicon-based MEMS f ” 中國GB標準檢索結果

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	GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法（中英文版） Microelectromechanical systems (MEMS) technology Silicon-based MEMS nano-thickness film tensile strength test method
	GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
	GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
	GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
	GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
	GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
	GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process
	GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

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