“Silicon-based MEMS f ” 中國GB標準檢索結果

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	GB/T 42897-2023 微機電系統（MEMS）技術矽基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法（中英文版） Microelectromechanical systems (MEMS) technology Silicon-based MEMS nano-thickness film tensile strength test method
	GB/T 32815-2016 矽基MEMS制造技術體矽壓阻加工工藝規範（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
	GB/T 32814-2016 矽基MEMS制造技術基于SOI矽片的MEMS工藝規範（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
	GB/T 32816-2016 矽基MEMS制造技術以深刻蝕與鍵合爲核心的工藝集成規範（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
	GB/T 28277-2012 矽基MEMS制造技術微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
	GB/T 28276-2012 矽基MEMS制造技術體矽溶片工藝規範（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
	GB/T 28275-2012 矽基MEMS制造技術氫氧化鉀腐蝕工藝規範（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process
	GB/T 28274-2012 矽基MEMS制造技術版圖設計基本規則（中英文版） Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

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